聚合物基微環(huán)諧振器的基礎(chǔ)研究.pdf

1、微環(huán)諧振器是構(gòu)建和實現(xiàn)集成光子學(xué)功能器件的重要基礎(chǔ)波導(dǎo)單元。其緊湊的結(jié)構(gòu)，獨特的波長選擇特性以及高Q因子等特性，使其可用于構(gòu)建光分插復(fù)用器(OADM)，調(diào)制器，光開關(guān)，光延時線以及生物傳感器等功能器件。目前相關(guān)光子學(xué)器件大多采用無機材料制備，雖然器件具有低損耗，高穩(wěn)定性等優(yōu)點，但復(fù)雜的制備工藝帶來的高昂的成本在某種程度上制約了其的普及和應(yīng)用。而采用聚合物基的光子學(xué)器件，可采用近年來興起的納米模壓技術(shù)進行器件的制備，大大降低成本。因此研究

2、新型光子聚合物材料，制備高性能，低成本的微環(huán)諧振器及相關(guān)光子學(xué)功能器件具有十分重要的意義。 第一部分是基于微環(huán)諧振器的基本理論，采用波導(dǎo)仿真模擬軟件對微環(huán)諧振器進行仿真模擬，并以開發(fā)的光子聚合物材料PSQ-L的光學(xué)特性參數(shù)和目前工藝條件為設(shè)計參數(shù)，設(shè)計跑道型的微環(huán)諧振器。 第二部分的工作主要圍繞新型聚合物PPESK基材料的成膜特性和光學(xué)特性進行了系統(tǒng)的研究。首先介紹了棱鏡耦合儀測量薄膜厚度和折射率的測量原理，并結(jié)合原理分