新型聚合物波導微環(huán)諧振器設(shè)計與制作.pdf

1、首先運用光波導理論和耦合模理論，建立了微環(huán)諧振器傳輸特性的理論模型，分析了微環(huán)諧振器傳輸特性和各性能指標隨耦合和損耗這兩個重要參數(shù)的變化關(guān)系，并討論了等幾種常見微環(huán)諧振器結(jié)構(gòu)的特點，為微環(huán)諧振器的設(shè)計提供了理論依據(jù)。 研究了新型有機無機雜化聚合物光子材料PSQ-Ls(液態(tài)PSQ)的成膜工藝，討論了引發(fā)劑含量對材料性能和薄膜質(zhì)量的影響，獲得了質(zhì)量優(yōu)良的薄膜，并測量了它們的基本光學特性。同時研究了PSQ-Ls的固化工藝，通過優(yōu)化固化

2、工藝使PSQ-Ls具備了較低的光損耗，討論了PSQ-Ls折射率的調(diào)控方法，結(jié)果表明PSQ-Ls是一種性能良好的聚合物光子材料。 以液態(tài)PSQ(PSQ-Ls)為波導制備材料，設(shè)計了多種倒脊型微環(huán)諧振器結(jié)構(gòu)和波導測試結(jié)構(gòu)，用于微環(huán)諧振器和波導基本性能的測試、設(shè)計結(jié)果和實際器件性能的對比、以及波導制備工藝的考察等，設(shè)計中對微環(huán)諧振器的波導寬度、彎曲半徑、耦合長度及耦合間隙(Gap)進行了優(yōu)化，以期獲得最小的插入損耗及大的消光比。給出了

3、掩模版的設(shè)計思路和設(shè)計結(jié)果，并制備出了掩模版。 分析了SOI結(jié)構(gòu)和全聚合物結(jié)構(gòu)光波導微環(huán)諧振器的工作波長與溫度的變化關(guān)系，利用PSQ-Ls具有較大的熱光系數(shù)的優(yōu)點，對以上兩種結(jié)構(gòu)的微環(huán)諧振器進行了無熱化的分析與設(shè)計，結(jié)果表明對于SOl結(jié)構(gòu)通過旋涂PSQ-Ls上包層和對于全聚合物結(jié)構(gòu)通過更換大熱膨脹系數(shù)的襯底均可以實現(xiàn)良好的無熱化效果。 介紹了傳統(tǒng)光學刻蝕、納米模壓及溝槽填充三種不同制作微環(huán)諧振器的方法。并采用這三種工藝初