聚合物集成光波導陀螺諧振環(huán)的設計和工藝研究.pdf

1、集成光波導諧振環(huán)是組成集成光波導陀螺器件的核心敏感元件，是集成光學領域備受研究的熱點之一。本論文的主要工作是聚合物集成光波導陀螺諧振環(huán)的設計、工藝制備以及器件的通光測試。 目前國內(nèi)外針對聚合物諧振環(huán)器件和應用方面展開了很多研究工作，很多聚合物材料也相繼報道，在陀螺諧振環(huán)器件的應用上，要求材料具有良好的熱穩(wěn)定性、加工性和較低的傳輸損耗。材料的選取、結構的設計以及加工過程是研制低損耗集成光波導陀螺諧振環(huán)的關鍵所在。本論文選用了新型的

2、聚碳酸酯材料，它同傳統(tǒng)的聚碳酸酯相比具有傳輸損耗低、熱穩(wěn)定性高、與襯底黏附力強等優(yōu)點，并利用該材料開展了諧振環(huán)器件的設計和工藝研究等工作。 （1）首先介紹了光學陀螺的發(fā)展背景及集成光學諧振環(huán)的基本結構和研究現(xiàn)狀，并闡述了諧振式集成光學陀螺的基本原理，分析了諧振環(huán)的傳輸特性。設計了MMI（多模干涉耦合）諧振環(huán)結構，波導采用脊形和條載形結構，在1550nm下均為單模傳輸。K9玻璃同時作為波導的襯底和下包層，聚碳酸酯和NOA61分別作

3、為波導的傳輸層和上包層材料。 （2）研究了器件的工藝制備，并重點對脊形器件的制備過程進行了詳細深入的實驗研究，在現(xiàn)有的實驗條件下，利用旋轉(zhuǎn)涂覆、光刻或刻蝕、研磨拋光等工藝技術，經(jīng)過反復實驗、分析和改進，總結出優(yōu)化的工藝參數(shù)，制備了較高質(zhì)量的脊形波導及條載形波導諧振環(huán)樣品。分析了影響聚碳酸酯薄膜質(zhì)量的因素，探討了光刻工藝中出現(xiàn)的問題和解決方案。 （3）通過對比脊形和條載波導實驗結果，采用脊形波導器件進行了632．8nm波長