超硬納米薄膜的顯微結構特征及其對性能的影響.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、全文共分九章.第一章到第三章由總到分的逐步簡要介紹了超硬薄膜,C<,3>N<,4>超硬薄膜,直到TiN/C<,3>N<,4>超硬納米多層膜,重點敘述了各種超硬薄膜的制備,研究現狀和應用.第四章介紹了該選題的目的和意義以及該文所做的主要工作.第五章介紹了實驗材料和樣品制備等.第六章至第八章利用掃描電子顯微鏡(SEM),X射線衍射儀(XRD),X射線能量分散譜儀(EDS)對涂層的顯微組織,顯微結構,成分進行了觀察和分析,較為系統(tǒng)地分析了不同

2、工藝參數下制備的涂層的微觀特征,提出了基底溫度和負偏壓影響涂層的生長和性能:基底溫度和負偏壓比較高時,涂層發(fā)生贗形生長,形成了Ti<,2>N/CN<,x>納米多層膜,每一層都在納米范圍,涂層薄而致密,硬度由于納米多層膜的超硬效應而非常高,附著力卻由于大的壓應力而偏低;而基底溫度,負偏壓較低時,涂層的生長方式納米微晶—無定形(Ti<,2>N微晶—CN<,x>無定形),涂層厚缺陷多,硬度不太高,附著力很好.得出了該制備方法中氮氣流量不足,T

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