SnO2薄膜的制備與性能表征.pdf

1、隨著能源的日漸短缺和全球環(huán)境的惡化等,我們必須尋找新的清潔可再生資源。太陽電池的研究和開發(fā)越來越受到人們的重視,尋找高的光電轉(zhuǎn)換效率的材料是我們要解決的關(guān)鍵問題。光入射到太陽能電池表面時,有一部分光產(chǎn)生反射現(xiàn)象,影響其光電轉(zhuǎn)換效率?，F(xiàn)在在太陽能電池表面形成一層減反射膜是提高其光電轉(zhuǎn)換效率的有效方法。
　　SnO2薄膜材料是一種金屬氧化物材料,它具有較寬的帶隙、高透射率、低電阻、化學(xué)和熱穩(wěn)定性能好,所以選擇用來作為太陽能電池的減反射

2、膜材料。本文中薄膜制備方法是等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)
　　(1)光伏發(fā)電技術(shù)的特點以及發(fā)展趨勢,太陽能電池的工作原理及選擇作為太陽能電池的材料應(yīng)具備的某些特性。
　　(2)SnO2薄膜的具體的特性、應(yīng)用以及它作為太陽能電池減反射膜材料的優(yōu)點及普遍采用的制備SnO2薄膜的方法。
　　(3)薄膜的生長原理及其測試方法,以及PECVD法制備薄膜的過程和相關(guān)數(shù)據(jù)的采集等。
　　(4)通過所得到的數(shù)據(jù),從其晶