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文檔簡(jiǎn)介
1、本論文所研究的課題來(lái)源于國(guó)家自然科學(xué)基金，重大國(guó)際合作項(xiàng)目“納米測(cè)控環(huán)境控制機(jī)理和關(guān)鍵技術(shù)研究”。 環(huán)境保障一直是測(cè)控領(lǐng)域中急待解決的問題，在高精度的納米測(cè)控中環(huán)境保障更成為影響測(cè)控結(jié)果的關(guān)鍵因素。高精度的納米測(cè)量是建立在對(duì)環(huán)境的嚴(yán)格控制的基礎(chǔ)上的，真正需要高精密測(cè)量環(huán)境的只是測(cè)量?jī)x器本身，所以研究小型的超高精密的恒溫恒濕潔凈抗振的納米測(cè)量環(huán)境具有重要的意義。 由于測(cè)量?jī)x器在測(cè)試腔內(nèi)工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生熱量，造成溫度的不均勻，從
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