納米PZT顆粒的兆赫超聲制備及壓電力顯微研究.pdf

1、近年來，壓電厚膜的研究引起了人們極大的興趣，與薄膜相比，厚膜的壓電、鐵電性能較少受界面、表面等影響，同時較大的厚度能產(chǎn)生更大的驅(qū)動力，且具有更寬的工作頻率，其中又以PZT壓電厚膜器件最為突出，這同時對PZT材料的制備提出了更高的要求。目前生產(chǎn)PZT顆粒的方法主要用水熱合成法，但是顆粒大小難以達到納米級。本文提出利用脈沖兆赫超聲法對合成的微米級PZT顆粒進行沖擊，達到制備納米級PZT顆粒的目的，并對得到的納米PZT顆粒進行了壓電力顯微測量

2、的探索性研究，成功測得其縱向壓電系數(shù)并完成比較分析。
　　主要研究內(nèi)容如下：
　　1.從聲場角度分析了兆赫超聲場能量來源以及指向特性，比較分析了兆赫超聲相比于普通超聲所具有的優(yōu)勢；設計并制作試驗裝置，包括夾心式壓電換能器，兆赫電源以及整個電路的控制方式。
　　2.對比機械力化學制備法，提出了兆赫超聲制備方法的優(yōu)勢，利用兆赫超聲試驗系統(tǒng)對水熱法合成的微米PZT顆粒進行作用，利用掃描電鏡、X射線衍射儀等分析手段對制備效果進