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文檔簡介
1、 本文首先給出了壓電石英晶體機電耦合的有限元數(shù)學模型。在該有限元數(shù)學模型基礎上，使用ANSYS軟件對石英晶片進行模態(tài)分析，比較仿真結果，進而完成了寬度彎曲振動工作模式的RQTS結構設計。研究了晶片的結構尺寸加工誤差對這類傳感器工作頻率的影響，為制作中選擇經濟的加工精度提供了手段。 然后設計出它的調理電路——CMOS集成振蕩器，完成了諧振式石英溫度傳感器的總體設計。通過實驗測試，驗證了整個系統(tǒng)設計的合理性，并采用最小二乘擬合法
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