納米多層膜中的非晶晶化與超硬效應.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文主要論述納米多層膜中的非晶晶化與超硬效應，納米多層膜非晶晶化是指在納米多層膜中由于某一層晶體生長的模板作用使另一原為非晶相的膜層晶化，并通常伴隨著硬度的異常增高。結(jié)合這些熱點領(lǐng)域，本文利用磁控濺射法制備了一系列的納米多層膜，并借助X射線衍射儀、高分辨透射電鏡、微力學探針等技術(shù)研究了：(1) 室溫時原為非晶的TiB2在立方TiN的模板作用下晶化為六方TiB2，以及TiN/TiB2異構(gòu)納米多層膜的微結(jié)構(gòu)與力學性能之間的關(guān)系；(2) 高溫

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