版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、上海交通大學(xué)博士學(xué)位論文超硬含氧化物納米多層膜的獲得及研究姓名:魏侖申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:博士專業(yè):材料加工工程指導(dǎo)教師:李建國;李戈揚(yáng)20050201上海交通大學(xué)博士學(xué)位論文 摘 要ii路線 以及這一技術(shù)路線在多個(gè)材料體系中獲得成功應(yīng)用的研究結(jié)果 國內(nèi)外尚無報(bào)道本論文的主要研究結(jié)果如下1 室溫沉積的 TiB2 薄膜呈非晶態(tài) 當(dāng)它與 fcc- TiN 晶體層交替沉積制備成納米多層膜時(shí) 隨著 TiB2 調(diào)制層厚度的不同 多層膜的生長結(jié)構(gòu)發(fā)生顯著變
2、化 當(dāng)層厚小于 2.9nm 時(shí) TiB2 調(diào)制層晶化為密排六方結(jié)構(gòu)并與面心立方的 TiN 層形成了異構(gòu)共格外延生長 其共格關(guān)系為{ } { } 2 0001 // 111 TiB TiN 2 0 2 11 // 110 TiB TiN >< 由于存在晶格失配度 共格生長的多層膜中形成了拉 壓交變應(yīng)力場 這種交變應(yīng)力場的存在以及 fcc- TiN 和 hcp- TiB2 滑移系的不同 導(dǎo)致多層膜產(chǎn)生硬度和彈性模量升高的超硬效應(yīng)
3、 最高硬度和彈性模量分別達(dá)到 46.9GPa 和 465GPa 隨著 TiB2 厚度的增加 TiB2 層逐漸形成了非晶態(tài) 破壞了納米多層膜的共格外延生長 形成非晶 TiN和非晶 TiB2 交替的調(diào)制結(jié)構(gòu) 多層膜的硬度和彈性模量明顯降低2 對(duì) TiN/SiO 2 納米多層膜的研究發(fā)現(xiàn) 盡管室溫濺射條件下 TiN 和 SiO 2 單層膜分別以納米晶和非晶態(tài)存在 但是當(dāng)兩者交替沉積制備成多層膜時(shí) 由于受到 TiN層(111)生長面的模板作用
4、SiO 2 層在厚度小于 1.0nm 時(shí)晶化并和 TiN 層形成了共格外延生長 與之相應(yīng) 多層膜的硬度和彈性模量異常增高 最高分別達(dá)到 44.5 和473GPa 分析認(rèn)為 SiO 2 層的晶化以及由此形成的共格界面是 TiN/SiO 2 納米多層膜硬度提高的主要微結(jié)構(gòu)因素 繼續(xù)增加 SiO2 層厚度 SiO 2 層轉(zhuǎn)變?yōu)榉蔷ЫY(jié)構(gòu)阻斷了納米多層膜的共格外延生長 多層膜的硬度和彈性模量亦隨之急劇減小 另一方面 TiN 層厚度的改變也能在一定
5、程度上影響納米多層膜的生長結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能 但相對(duì)較小在 300°C 的沉積溫度下 TiN 單層膜的結(jié)晶完整性較好 而 SiO 2 單層膜仍以非晶態(tài)存在 由于不能有效提高 SiO2 晶化層的厚度 所以該溫度下制備的 TiN/SiO 2納米多層膜的生長結(jié)構(gòu)和室溫相比變化不大 沉積溫度的提高導(dǎo)致多層膜產(chǎn)生界面混合 在一定程度上削弱了多層膜硬度的增加3研究發(fā)現(xiàn) 350°C 溫度下沉積的 TiB2 單層膜可以完全晶化為 hcp
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 超硬含氧化物納米多層膜的獲得及研究.pdf
- 超硬金屬氮化物納米多層膜界面微結(jié)構(gòu)及力學(xué)性能研究.pdf
- 硬質(zhì)納米多層膜的微結(jié)構(gòu)與超硬效應(yīng).pdf
- 納米多層膜中的相轉(zhuǎn)變與超硬效應(yīng).pdf
- TiC基納米多層膜的微結(jié)構(gòu)和超硬效應(yīng).pdf
- 含AlN納米多層膜的生長結(jié)構(gòu)和超硬機(jī)制研究.pdf
- 納米多層膜中的非晶晶化與超硬效應(yīng).pdf
- VC基納米多層膜的微結(jié)構(gòu)與超硬效應(yīng).pdf
- 氧化物介質(zhì)多層膜的生長與電學(xué)性能的研究.pdf
- 錳氧化物膜、鈦氧化物膜的模型制備和研究.pdf
- 超硬納米復(fù)合膜致硬機(jī)理的研究.pdf
- AlN基納米多層膜的生長結(jié)構(gòu)、超硬機(jī)制及高溫穩(wěn)定性研究.pdf
- 若干超硬納米多層膜界面結(jié)構(gòu)及力學(xué)特性的第一性原理研究.pdf
- 超疏水納米氧化物的制備及其性能研究.pdf
- 納米晶鐵鈷基金屬和氧化物磁性多層膜性能及應(yīng)用研究.pdf
- 納米銦錫氧化物(ITO)顆粒制備及成膜性能的研究.pdf
- 基于陽極氧化鋁膜制備錳氧化物納米材料的研究.pdf
- 過渡金屬氧化物多層空心納米球的制備及超級(jí)電容性能研究.pdf
- 納米氧化物和硫氧化物的合成、表征及發(fā)光性質(zhì)的研究.pdf
- 氧化物及氫氧化物納米材料的制備和表征.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論