復(fù)合功能薄膜β-BBO-α-BBO制備與性能研究.pdf

1、本文采用新型的制備工藝將優(yōu)良性能的β-BBO薄膜和新型的襯底材料α-BBO單晶有機(jī)的結(jié)合在一起，以探索新型的、符合激光技術(shù)發(fā)展需要的β-BBO/α-BBO復(fù)合非線性光學(xué)薄膜。 采用提拉法生長(zhǎng)了摻鍶的α-BBO單晶，并對(duì)Sr2+∶α-BBO單晶襯底的物相、光學(xué)性能以及熱學(xué)性能進(jìn)行了研究。 將氣相傳輸平衡技術(shù)創(chuàng)新性地用于β-BBO/α-BBO復(fù)合非線性光學(xué)材料的制備。分析了粉料配比、襯底取向、VTE處理溫度、處理時(shí)間對(duì)薄膜質(zhì)

2、量的影響。 在KrF準(zhǔn)分子激光沉積系統(tǒng)上進(jìn)行了β-BBO/α-BBO復(fù)合非線性光學(xué)材料的制備。實(shí)驗(yàn)選取β-BBO陶瓷作為靶材，研究了沉積溫度以及高溫退火對(duì)薄膜質(zhì)量的影響。 實(shí)驗(yàn)證明，適量Sr+的加入對(duì)α-BBO單晶的光學(xué)性能以及熱學(xué)性能無(wú)太大影響，反而有利于制備高質(zhì)量α-BBO單晶。采用氣相傳輸平衡技術(shù)制備β-BBO/α-BBO復(fù)合非線性光學(xué)材料是可行的，實(shí)驗(yàn)結(jié)果說(shuō)明，當(dāng)Li2CO3與Al2O3的混合物中Li2CO3為1

3、6.7mol％時(shí)，在850℃下、恒溫6小時(shí)、(001)面的α-BBO單晶襯底上生長(zhǎng)的β-BBO薄膜質(zhì)量較好，且沒(méi)有第二相產(chǎn)生。當(dāng)采用脈沖激光沉積技術(shù)制備時(shí)，選取β-BBO陶瓷作為靶材替代β-BBO單晶靶材，在節(jié)約成本方面具有重要的意義。研究結(jié)果表明，采用這兩種方法制備β-BBO/α-BBO復(fù)合非線性光學(xué)材料，當(dāng)襯底為(001)取向時(shí)，生長(zhǎng)的β-BBO薄膜均呈c軸取向，薄膜的雙晶搖擺曲線半峰寬值FWHM值均在1000″左右，表明薄膜具有較