已閱讀1頁，還剩66頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、隨著集成電路器件特征尺寸的不斷減小,微納電子材料的力學(xué)性能越來越顯著地對器件乃至整個電路的可靠性產(chǎn)生重要影響。因此需要一種行之有效的評價方法來表征這些材料在納米尺度上的力學(xué)性能。本文采用納米壓入實驗的方法,分別對集成電路工藝中常用的二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜和銅互連布線中常用的Cu/Ta/SiO2/Si結(jié)構(gòu)的多層薄膜進行了研究。使用納米硬度儀分別測量了這三種樣品的硬度和彈性模量,并對硬度和彈性模量與壓入深度、載荷的關(guān)系作了分析,討論了材料
2、在壓入過程中的納米力學(xué)行為與材料性能間的關(guān)系。此外,對Cu/Ta/SiO2/Si多層薄膜樣品,還利用FIB加工了殘留壓痕的剖面樣品,進行了TEM觀察和EDX能譜分析,觀察到了Ta/SiO2界面在載荷作用下的分層現(xiàn)象,并討論了引起這一現(xiàn)象的可能原因。
通過對二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜和Cu/Ta/SiO2/Si多層薄膜的研究,評估了納米壓入實驗方法作為集成電路制造過程中的在線監(jiān)測手段的可行性,測試結(jié)果在集成電路結(jié)構(gòu)中常見的硬膜
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 納米壓入技術(shù)在金屬材料微區(qū)力學(xué)性能表征中的應(yīng)用研究.pdf
- 微拉曼光譜技術(shù)在納米材料力學(xué)性能研究中的應(yīng)用.pdf
- 基于AFM的納米材料力學(xué)性能和表面性質(zhì)的實驗研究.pdf
- 材料力學(xué)性能
- 材料力學(xué)性能
- 納米材料力學(xué)性能的多種尺度模擬.pdf
- 材料力學(xué)性能綜合實驗-測試原理
- 材料力學(xué)性能總結(jié)
- 小尺度鎳納米晶體材料力學(xué)性能研究.pdf
- 材料力學(xué)性能答案
- 本科生實驗材料力學(xué)性能實驗2
- 微發(fā)泡聚丙烯材料力學(xué)性能研究及其模擬.pdf
- 膠合木材料力學(xué)性能研究.pdf
- 建筑膜材料力學(xué)性能研究.pdf
- 新型薄膜材料力學(xué)性能研究.pdf
- 納米復(fù)合材料力學(xué)性能的分子動力學(xué)模擬.pdf
- 微發(fā)泡聚丙烯復(fù)合材料力學(xué)性能的研究.pdf
- 工程材料力學(xué)性能答案
- 材料力學(xué)性能課后習(xí)題
- 材料力學(xué)性能試題集
評論
0/150
提交評論