大行程超精密工作臺關鍵技術研究.pdf

1、高精度和高分辨率的精密微位移工作臺系統(tǒng)在近代尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學研究領域內(nèi)占有極為重要的地位。它直接影響精密、超精密切削加工精度、精密測量精度及超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平。在已研制的精密及超精密工作臺中，往往整體性能存在缺陷，同時對環(huán)境的要求嚴格。 該文的目的是通過對精密平臺的支撐技術研究，尋找各項性能均衡的設計方案，為研制出性能均衡，適合工業(yè)環(huán)境應用的新型大行程超精密定位平臺打下堅實的基礎。 該文通過國內(nèi)外大行程超精密平臺

2、的比較分析，得出如下結論：陶瓷材料、空氣靜壓導軌、直接驅動技術是超精密平臺的關鍵技術。因此該文主要研究了先進結構材料的應用、空氣靜壓導軌、直接驅動技術。 該文應用有限元軟件ANSYS對鋼材、鋁合金、氧化鋁陶瓷、石英陶瓷、花崗石進行了熱分析、熱-結構耦合分析、瞬態(tài)熱分析。得出如下結論：在超精密平臺中，由于溫度變化引起的結構變形誤差占主導地位，具有較好的熱穩(wěn)定性的石英陶瓷材料是非常適宜的材料。 該文對氣體潤滑理論進行了深入分