大行程宏微驅動超精密進給系統(tǒng)的設計與研究.pdf

1、隨著信息技術、生物技術、超精密加工技術的發(fā)展,對其所需的加工設備也提出更高的要求。宏微驅動超精密進給系統(tǒng)逐漸成為研究的新趨勢,尤其在對加工精度要求高、行程要求大的加工領域,宏微驅動進給系統(tǒng)體現出其獨特的優(yōu)點。因此大行程宏微驅動進給系統(tǒng)的研究為解決當今精密、超精密加工提供了切實可行的解決方案。本文通過對國內外的宏微驅動系統(tǒng)的研究現狀的分析,提出了一種雙層的宏微驅動超精密進給系統(tǒng)。在確定整體結構方案的基礎上,首先進行了微進給機構的設計。通過

2、對微進給機構的傳動和導向機構的研究和分析后,根據彈性鉸鏈的結構特性確定了微進給機構的傳動和導向機構的布局,進而進行了彈性鉸鏈具體參數的設計和分析,并對設計的微進給機構進行了應力應變仿真分析。本文根據宏微驅動系統(tǒng)的實際工作狀況,設計了全載荷微進給平臺。在總結已設計的彈性鉸鏈機構的基礎上,對彈性鉸鏈的設計進行了優(yōu)化,并提出了全載荷微進給機構的傳動導向布局,并且根據實際工作中的受載荷狀況進行了仿真分析。本文最后完成了宏微驅動系統(tǒng)的搭建,包括宏