宏微驅(qū)動(dòng)回轉(zhuǎn)進(jìn)給系統(tǒng)研究.pdf

1、宏微驅(qū)動(dòng)技術(shù)是隨著超精密技術(shù)的需求應(yīng)運(yùn)而生的。由于該技術(shù)能滿足較大的運(yùn)動(dòng)范圍和較高的運(yùn)動(dòng)精度要求，所以它被廣泛的應(yīng)用于微電子、航空航天、軍事等高科技領(lǐng)域。國(guó)內(nèi)外對(duì)宏微驅(qū)動(dòng)的直線進(jìn)給技術(shù)研究比較多，但作為主要運(yùn)動(dòng)形式之一的回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，宏微驅(qū)動(dòng)技術(shù)在此的技術(shù)研究卻很少。
　　本文在對(duì)國(guó)內(nèi)外相關(guān)宏微技術(shù)文獻(xiàn)的研究基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了一套可將直線微動(dòng)轉(zhuǎn)換為回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的回轉(zhuǎn)進(jìn)給系統(tǒng)，用運(yùn)動(dòng)學(xué)方法計(jì)算分析微動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換特性，通過(guò)實(shí)驗(yàn)檢驗(yàn)其傳動(dòng)特性，分

2、析計(jì)算其承載特性，并對(duì)相關(guān)宏動(dòng)回轉(zhuǎn)軸進(jìn)行檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。本文的主要研究?jī)?nèi)容包括:
　　(1)在大量查閱國(guó)內(nèi)外文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上，提出宏微驅(qū)動(dòng)回轉(zhuǎn)進(jìn)給系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案，完成系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì);
　　(2)分析該系統(tǒng)的特性，對(duì)其重點(diǎn)研究?jī)?nèi)容進(jìn)行規(guī)劃;
　　(3)用運(yùn)動(dòng)學(xué)方法分析計(jì)算微動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換特性，并用實(shí)驗(yàn)檢驗(yàn)其傳動(dòng)特性，最后用有限元分析其傳動(dòng)轉(zhuǎn)換特性;
　　(4)用雅克比矩陣分析計(jì)算微動(dòng)機(jī)構(gòu)的承載特性，并用實(shí)驗(yàn)檢驗(yàn)微動(dòng)機(jī)構(gòu)的剛