基于壓電驅(qū)動及柔性鉸鏈技術(shù)的精密回轉(zhuǎn)系統(tǒng)研究.pdf

1、宏/微驅(qū)動技術(shù)是隨著科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展應(yīng)運而生的。由于該技術(shù)能滿足較大的運動范圍和較高的運動精度要求，所以它被廣泛的應(yīng)用于微電子、航天、軍事等高科技領(lǐng)域。國內(nèi)外對宏微驅(qū)動直線進給技術(shù)研究比較多，但是作為主要運動形式之一的回轉(zhuǎn)運動的宏微回轉(zhuǎn)進給技術(shù)研究卻很少。
　　本文在對國內(nèi)外相關(guān)宏/微技術(shù)文獻的研究基礎(chǔ)上，設(shè)計了一種可將直線微動轉(zhuǎn)換為回轉(zhuǎn)微動的柔性鉸鏈轉(zhuǎn)換機構(gòu)，用靜力學(xué)和有限元法對柔性鉸鏈轉(zhuǎn)換機構(gòu)進行分析，設(shè)計了精密回轉(zhuǎn)系統(tǒng)，通

2、過試驗驗證了系統(tǒng)的精確性。本文的主要內(nèi)容包括:
　　(1)在研究柔性鉸鏈及壓電陶瓷驅(qū)動器工作原理基礎(chǔ)上，設(shè)計了一種包含多個柔性鉸鏈的轉(zhuǎn)換機構(gòu)，分析了轉(zhuǎn)換機構(gòu)的工作原理。
　　(2)用靜力學(xué)對柔性鉸鏈轉(zhuǎn)換機構(gòu)的變形和受力進行了分析，用有限元軟件對其進行了仿真分析。
　　(3)根據(jù)柔性鉸鏈轉(zhuǎn)換機構(gòu)使用條件不同，設(shè)計了兩套精密回轉(zhuǎn)系統(tǒng)，評價了兩套回轉(zhuǎn)系統(tǒng)的特點。
　　(4)微動回轉(zhuǎn)系統(tǒng)試驗:分別對壓電陶瓷驅(qū)動器的剛度、