基于壓電陶瓷的超精密柔性微定位機(jī)構(gòu)的研究.pdf

1、本文根據(jù)“二元光學(xué)激光直接寫入設(shè)備”課題的需要，對(duì)一種納米分辨力微位移機(jī)構(gòu)進(jìn)行了研究。 通過(guò)查閱大量相關(guān)文獻(xiàn)資料，提出了以壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器作為驅(qū)動(dòng)元件，以柔性鉸鏈作為導(dǎo)向元件的微位移調(diào)焦機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)方案。 文中對(duì)微位移機(jī)構(gòu)的基本組成和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器基本理論的論述，闡述了層疊型壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的工作原理、柔性鉸鏈的工作原理，并對(duì)柔性鉸鏈的轉(zhuǎn)角剛度公式進(jìn)行了推導(dǎo)，并編制了相應(yīng)的計(jì)算程序，通過(guò)計(jì)算柔性鉸鏈不同R和T的轉(zhuǎn)角剛度，對(duì)柔性鉸

2、鏈的性能進(jìn)行了分析。進(jìn)行了微位移機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)，對(duì)微位移機(jī)構(gòu)的整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析以及微位移機(jī)構(gòu)的性能參數(shù)計(jì)算。同時(shí)對(duì)微位移機(jī)構(gòu)進(jìn)行了設(shè)計(jì)制作及測(cè)試，對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行了分析。最后得出了結(jié)論。 本文對(duì)微位移機(jī)構(gòu)進(jìn)行了理論分析和設(shè)計(jì)，推導(dǎo)并計(jì)算了微位移機(jī)構(gòu)的剛度和固有頻率，并對(duì)微位移機(jī)構(gòu)進(jìn)行了剛度校核和應(yīng)力校核。介紹了制造微位移機(jī)構(gòu)的工藝方案及其加工方法，完成了所設(shè)計(jì)的微位移機(jī)構(gòu)的制作，并對(duì)其進(jìn)行了位移-電壓特性、定位特性和位移分辨力等主要