壓電陶瓷執(zhí)行器的精密運(yùn)動(dòng)控制.pdf_第1頁
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1、隨著高精度工業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)于微米級(jí)甚至納米級(jí)定位系統(tǒng)的需求變得越來越必不可少。壓電陶瓷執(zhí)行器由于有著納米級(jí)定位分辨率、高剛度與響應(yīng)速度快等特點(diǎn)而得到了廣泛的應(yīng)用。壓電陶瓷執(zhí)行器的非線性磁滯效應(yīng)嚴(yán)重制約了其運(yùn)動(dòng)精度。為了解決這個(gè)問題，本文討論了壓電陶瓷執(zhí)行器的位置控制和軌跡跟蹤控制問題。
　　首先，文中提出了一種基于部分模型信息的PID滑模控制方法。為了減小在平衡點(diǎn)附近的高頻震顫，我們引入了一種飽和函數(shù)來代替符號(hào)函數(shù)。其次，考慮到

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