基于虛擬樣機(jī)技術(shù)的超精密磨床進(jìn)給系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf

1、超精密硅片磨床進(jìn)給系統(tǒng)是磨床中一個(gè)關(guān)鍵部件，其結(jié)構(gòu)性能不僅直接決定了進(jìn)給系統(tǒng)定位精度和磨床的加工精度，而且對(duì)磨床整機(jī)工作性能影響也很大。作為一種結(jié)構(gòu)復(fù)雜且高精度的機(jī)電產(chǎn)品，為了獲得良好的進(jìn)給、加工精度，進(jìn)給系統(tǒng)的設(shè)計(jì)對(duì)于其結(jié)構(gòu)的靜、動(dòng)、熱力學(xué)性能、運(yùn)動(dòng)學(xué)性能等方面都有著嚴(yán)格要求，所以必須采用現(xiàn)代設(shè)計(jì)手段來(lái)提高和確保產(chǎn)品設(shè)計(jì)質(zhì)量及最終性能。 傳統(tǒng)的產(chǎn)品設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)流程一般為方案設(shè)計(jì)、圖紙?jiān)O(shè)計(jì)、制造實(shí)物樣機(jī)和實(shí)物樣機(jī)試驗(yàn)直至產(chǎn)品投產(chǎn)上市

2、，該過(guò)程周期過(guò)長(zhǎng)，成本費(fèi)用過(guò)高。虛擬樣機(jī)技術(shù)是一項(xiàng)近年來(lái)廣泛應(yīng)用的產(chǎn)品設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)新技術(shù)。在產(chǎn)品設(shè)計(jì)過(guò)程中應(yīng)用虛擬樣機(jī)技術(shù)可以減少對(duì)實(shí)物樣機(jī)的依賴(lài)，這樣不僅可以降低開(kāi)發(fā)成本，縮短產(chǎn)品開(kāi)發(fā)周期，而且可以提高設(shè)計(jì)質(zhì)量和產(chǎn)品性能，增強(qiáng)企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。 本文以超精密磨床進(jìn)給系統(tǒng)為研究對(duì)象，采用Pro/E建模軟件建立了其三維虛擬數(shù)字模型，并在該模型的基礎(chǔ)上分別建立進(jìn)給系統(tǒng)的有限元零部件模型、運(yùn)動(dòng)學(xué)仿真模型。文中應(yīng)用ANSYS軟件對(duì)進(jìn)給系統(tǒng)機(jī)械零