版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、第!“卷!第#期#$$%年$#!“修訂日期!#$$%$“!$!!基金項目!國家!#$#$文章編號!!$$$!%$$$!%!“$#$7J13D71K2D7)1(123.(3)3..5J2G.J(122.)28F3JN..5J13P)GJ13)D)31%M)2JP)G7152P31I(2.G5G1237D)3.3LJ3)3.P2K273(28[G212)1K2J3)31D2.)G2J13J3)3.%.0Z[1K2.J13)52P)GG5GL
2、12BD2.MJ3D.)23.)G2J3)31.3J(2.)2)G2(3)3.211318:G5G1237D)3.7.212.321.)251)2.)3)G2732733(L22NI%PGGD2)3J2D12)G2(3)3.3L)G22.2LL2)31J3D.)2.)G2J13)528[G2L22L31P1.L22NI123JN.2)33.)137)G2J13)52%.)G2LDVVM()K20C3.)1377531)GJ2J(73M2
3、.)G2J13)528[G22H(21J2.)712D7)G3P)G))G2)1K271.52!$$JJ%)G22))7.5)J272)G.J13D71K2(123.(3)3..5@!微動系統(tǒng)建模當壓電晶體置于外電場中!由于電場的作用!晶體會發(fā)生變形!形變的大小和外電場強的大小成正比!這種由于電場的作用而使壓電晶體發(fā)生形變的現(xiàn)象稱為逆壓電效應!可描述為#YXA=Y3=!$%%式中!Y為應變!A=為彈性常數(shù)!為應力!3為壓電常數(shù)!=為電場
4、強度“利用壓電陶瓷的逆壓電效應可產(chǎn)生微位移“壓電陶瓷在電壓控制下可獲得納米級分辨率!其頻率響應高7)3.1K2.J1313N3)設為傳動部件的剛度!為平行板移動副的剛度!7為運動部分的質(zhì)量!.為系統(tǒng)的阻尼系數(shù)“當輸入位移為A時!驅(qū)動器的輸出位移為5!則質(zhì)量’彈簧’阻尼二階系統(tǒng)的力平衡方程為#75iY.5Y$Y%5XA!$%系統(tǒng)的傳遞函數(shù)為#9$)%XA$)#Y#&$)Y$!$T%式中!AXY“T!第!期!!!節(jié)德剛等#一種宏微雙
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 基于直線電機宏微雙重驅(qū)動大行程精密定位臺的研究.pdf
- 一種新型壓電薄膜驅(qū)動微定位平臺分析與建模研究.pdf
- 一種磁懸浮平面電機驅(qū)動的微位移精密定位平臺研究.pdf
- 基于粘滑驅(qū)動的精密定位臺建模與控制.pdf
- 基于擾動觀測器的超精密宏微驅(qū)動定位技術(shù)研究.pdf
- 快速超精密宏微運動驅(qū)動方法研究.pdf
- 一種新型自平衡越障機構(gòu)的設計與建模
- 宏微驅(qū)動超精密定位工作臺在磨床上的應用研究.pdf
- 一種室內(nèi)輪椅的建模與運動控制.pdf
- 一種高精密溫度控制儀的研究與實現(xiàn).pdf
- 大行程宏微驅(qū)動超精密進給系統(tǒng)的設計與研究.pdf
- 宏-微雙驅(qū)動微切削定位進給系統(tǒng)的研究.pdf
- 一種集成式類平面全柔性并聯(lián)微定位機構(gòu)設計與研究.pdf
- 基于宏微驅(qū)動的納米定位系統(tǒng)的研究.pdf
- 精密定位系統(tǒng)中遲滯特性的建模與控制.pdf
- 宏微驅(qū)動控制及其在高精密數(shù)控車床上的應用研究.pdf
- 一種助行裝置的建模、仿真與驅(qū)動系統(tǒng)硬件設計.pdf
- 一種新型繞帶平臺的設計、建模與控制.pdf
- 一種二維精密伺服跟蹤機構(gòu)設計與分析.pdf
- 宏-微驅(qū)動高速高精度定位系統(tǒng)的研究.pdf
評論
0/150
提交評論