微尺度多層膜力學響應的有限元分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文主要通過對納米硬度實驗的模擬,對多層膜在壓頭壓入情況下的應力應變響應進行了計算模擬,將三維的Vickers壓頭簡化成二維的夾角136°的楔形壓頭,簡化成了一個平面應變問題,并假設壓頭是剛性的,而膜體材料和基體材料假設成是各向同性的理想彈塑性材料,并遵循Mises屈服條件,壓頭與膜層的接觸考慮摩擦.由于這是個物理非線性和邊界條件非線性的問題,所以采用了增量迭代計算方法.并在FEPG有限元自動生成系統(tǒng)平臺上,自行編制了符合該文需要的計算

2、程序.最后利用該模型和程序進行了以下計算研究:1、該文分析了膜層中軟膜的材料差異對膜層應力的影響.2、該文分析了膜層厚度一定的情況下,軟硬膜厚度比對膜層應力的影響.3、該文分析了多層膜層數(shù)對多層膜應力場的影響,發(fā)現(xiàn)增大膜層的層數(shù)能夠很好的保護基底,降低膜層與基底界面上的應力,減小膜層中的張應力.4、利用該文所編制的計算程序,對納米硬度實驗進行了計算模擬.最后依據(jù)上面的結(jié)果,提出梯度變化的多層膜能夠更好的改善膜層中的應力場,并指出了多層膜

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