ILD型智能激光衍射光強(qiáng)測量儀.pdf

1、衍射是最常見的一種光學(xué)現(xiàn)象，由于近代激光和信息技術(shù)的出現(xiàn)與發(fā)展，使它在精密測量領(lǐng)域顯現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用前景。智能激光衍射光強(qiáng)測量儀就是這樣的一種精密測量儀器?；谠搩x器，論文從光學(xué)衍射理論出發(fā)，結(jié)合半導(dǎo)體技術(shù)、微機(jī)接口技術(shù)等，闡述了它的基本原理、結(jié)構(gòu)組成及應(yīng)用。 文章從衍射的角度探討了微距測量的相關(guān)問題。一束激光通過狹縫(細(xì)絲)產(chǎn)生衍射圖樣，線陣SSPA從圖樣中心橫向取樣，把光強(qiáng)信號轉(zhuǎn)換成電脈沖，再放大采樣保持，經(jīng)ADC0804模/

2、數(shù)轉(zhuǎn)換后輸入計(jì)算機(jī)，運(yùn)算出暗紋中心所在SSPA光敏元，這樣就得到計(jì)算縫寬(直徑)的重要參數(shù)－暗縫中心間距。和傳統(tǒng)的衍射過程相比，由于使用半導(dǎo)體傳感器和后期數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)處理，最終的測量結(jié)果更精確、更科學(xué)、更快速。SSPA光敏元中心距僅有幾到幾十微米，以它為單位得到的暗紋中心距使測量結(jié)果更趨精確。 文章最后著重討論了測量誤差的產(chǎn)生、來源以及減少誤差的方法。 衍射法測微距融合了近代的激光、半導(dǎo)體、信息處理技術(shù)，成為一種新興的測