衍射波前測試方法的研究.pdf

1、分類號：衛(wèi)j絲15DC：密級編號衍射波前測試方法的研究RESEARCHONTHEMETHODFORTES’。I、INGDIFF足4CTIONH搿礦EFRONT學(xué)位授予單位及代碼：籃壹堡王盍堂f!Q!塹2學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：堂堂蘭璀!Q!Q32研究方向：鹽旦型毯蕉鲞叢邀墨申請學(xué)位級別：亟塵指導(dǎo)教師：至整煎握研究屯：昱墊論文起止時q：!QQ!：Il二2QiQ：12摘要衍射光柵是應(yīng)用在光譜儀器中最重要的元件之一。隨著光譜儀器應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展。衍

2、射光柵不僅應(yīng)用于物質(zhì)元素的光譜分析，而且在天文學(xué)、量子光學(xué)、集成光學(xué)、生物學(xué)、光通訊、化工以及冶金等領(lǐng)域也得NT廣泛應(yīng)用。同時隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，光柵加工也達(dá)到了一個嶄新的高度。衍射光柵應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展使得制造光柵刻劃技術(shù)的提高成為目前光柵研究領(lǐng)域的首要任務(wù)。光柵面型復(fù)雜化，面積增大，刻線密度的提高等均給光柵的制各帶來新的挑戰(zhàn)，與此同時光柵的質(zhì)量檢測就成為不可或缺的重要環(huán)節(jié)。對于衍射光柵的檢測，測量光柵衍射波面的波象差是評價光柵質(zhì)量是

3、否合格的重要環(huán)節(jié)，對萁測量主要有干涉法、全息術(shù)法和位相對比法三種方法。通過對干涉條紋的獲取、處理即可得知波前缺陷，從而反映出此光柵的質(zhì)量水平和加工上的不足，并得以改進(jìn)。目前衍射光柵波前檢測已應(yīng)用于在平面光柵的檢測中，而對于凹面光柵的質(zhì)量檢測僅是對其衍射效率進(jìn)行檢測，未應(yīng)用于其衍射波前進(jìn)行檢測。本文在闡述了光柵衍射理論性質(zhì)基礎(chǔ)之上，論述了衍射波前檢測在光柵加工質(zhì)量評價的重要性，并對凹面衍射光柵波前檢測方法進(jìn)行研究?；谔┞缮鎯x檢測原理搭