光柵矢量衍射的新方法研究.pdf

1、隨著加工技術(shù)的日益更新,尤其是微加工工藝的出現(xiàn),儀器的光、機(jī)、電集成化與微型化是一個(gè)必然的發(fā)展趨勢(shì),因此微光學(xué)受到越來越多學(xué)者的關(guān)注和重視.目前,處理亞波長(zhǎng)光柵所必須的矢量衍射數(shù)值計(jì)算方法,尤其是傅立葉模式方法、瑞利方法以及坐標(biāo)變換法這幾種最為廣泛使用的方法都已經(jīng)逐步成熟和完善,但是每一種方法的缺點(diǎn)也是十分明顯的.該論文在深入研究了上述幾種算法的基礎(chǔ)上,提出了一種綜合處理光柵矢量衍射問題的新方法,這種方法巧妙地結(jié)合了瑞利方法、傅立葉模式

2、方法、坐標(biāo)變換法各自獨(dú)立處理光柵矢量衍射問題的優(yōu)勢(shì),摒棄了它們最主要的缺點(diǎn),從而不僅大大簡(jiǎn)化了處理光柵問題的理論推導(dǎo),而且大幅度地減少了計(jì)算量,我們把這種方法稱為Waterman-Fourier-Chandezon Method(簡(jiǎn)稱WFCM),其中我們采用傅立葉因式分解規(guī)則和反射透射系數(shù)陣遞推算法來提高數(shù)值計(jì)算的收斂速度和克服層與層之間由于厚度變大所帶來的數(shù)值計(jì)算不穩(wěn)定性.在WFCM的基礎(chǔ)上,獨(dú)立地編制了一套完整的計(jì)算程序,該程序計(jì)算