SONOS存儲器阻擋層結構及隧穿層退火工藝的研究.pdf

1、分類號學號M201172112學校代碼10487密級碩士學位論文碩士學位論文SONOS存儲器阻擋層結構及隧穿層退火工存儲器阻擋層結構及隧穿層退火工藝的研究研究學位申請人：學位申請人：何美林何美林學科專業(yè)學科專業(yè)：微電子學與固體電子學微電子學與固體電子學指導教師指導教師：徐靜平徐靜平教授教授答辯日期答辯日期：2014年1月7日獨創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學位論文是我個人在導師指導下進行的研究工作及取得的研究成果。盡我所知，除文中已經標明引用

2、的內容外，本論文不包含任何其他個人或集體已經發(fā)表或撰寫過的研究成果。對本文的研究做出貢獻的個人和集體，均已在文中以明確方式標明。本人完全意識到本聲明的法律結果由本人承擔。學位論文作者簽名：日期：年月日學位論文版權使用授權書本學位論文作者完全了解學校有關保留、使用學位論文的規(guī)定，即：學校有權保留并向國家有關部門或機構送交論文的復印件和電子版，允許論文被查閱和借閱。本人授權華中科技大學可以將本學位論文的全部或部分內容編入有關數據庫進行檢索，