測(cè)量系統(tǒng)分析在集成電路測(cè)試中的應(yīng)用.pdf

1、測(cè)量系統(tǒng)分析測(cè)量系統(tǒng)分析測(cè)量系統(tǒng)分析測(cè)量系統(tǒng)分析在集成電路測(cè)試中的應(yīng)用在集成電路測(cè)試中的應(yīng)用在集成電路測(cè)試中的應(yīng)用在集成電路測(cè)試中的應(yīng)用MSAApplicationinICTestProcess學(xué)科專業(yè)：集成電路工程研究生：黃曉斌指導(dǎo)教師：張之圣教授企業(yè)導(dǎo)師武立樹(shù)高級(jí)工程師天津大學(xué)電信學(xué)院二零一二年五月1摘摘摘摘要要要要測(cè)量系統(tǒng)分析（MSA，MeasurementSystemAnalysis）是ISOTS16949汽車行業(yè)質(zhì)量管理體系的

2、核心要素之一。很多跨國(guó)公司在考察供應(yīng)商時(shí)，都很注重審查供應(yīng)商的質(zhì)量管理體系，其中衡量供應(yīng)商的質(zhì)量保證能力的一個(gè)重要參考指標(biāo)就是MSA的應(yīng)用情況。同時(shí)，測(cè)量系統(tǒng)分析也是六西格瑪質(zhì)量管理方法的一項(xiàng)重要內(nèi)容，是實(shí)施DMAIC持續(xù)質(zhì)量改進(jìn)的關(guān)鍵工具之一。本論文主要對(duì)測(cè)量系統(tǒng)分析的理論和方法作了較為系統(tǒng)的介紹，給出了計(jì)量型、計(jì)數(shù)型測(cè)量系統(tǒng)分析的主要特性指標(biāo)及研究方法。結(jié)合本單位的實(shí)際情況，本文分析和討論了集成電路測(cè)試過(guò)程中的測(cè)量系統(tǒng)的評(píng)價(jià)內(nèi)容和方

3、法，對(duì)如何在集成電路測(cè)試過(guò)程中應(yīng)用測(cè)量系統(tǒng)分析提出了詳細(xì)的實(shí)施方案，內(nèi)容包括測(cè)試過(guò)程簡(jiǎn)介、測(cè)試系統(tǒng)構(gòu)成介紹、測(cè)試的參數(shù)分類、影響測(cè)試過(guò)程的因素分析、模擬參數(shù)方法進(jìn)行MSA的可行性分析、MSA仿真程序的開(kāi)發(fā)、計(jì)量型測(cè)量系統(tǒng)的MSA、計(jì)數(shù)型測(cè)量系統(tǒng)的MSA、MSA程序書(shū)及指導(dǎo)書(shū)的制定等內(nèi)容。本文用實(shí)例詳細(xì)說(shuō)明了應(yīng)用Minitab統(tǒng)計(jì)軟件進(jìn)行MSA數(shù)據(jù)分析的方法，極大簡(jiǎn)化了MSA數(shù)據(jù)分析過(guò)程中的復(fù)雜計(jì)算。并開(kāi)創(chuàng)性地提出應(yīng)用模擬參數(shù)代替實(shí)際樣件