多功能半導(dǎo)體材料測(cè)試儀的設(shè)計(jì).pdf

1、導(dǎo)電類型、方塊電阻和電阻率是半導(dǎo)體材料最重要的特性參數(shù)，通過(guò)對(duì)其判別和測(cè)量，可以掌握不同種樣品中雜質(zhì)濃度的分布情況。因此，在半導(dǎo)體行業(yè)中，必須快速、準(zhǔn)確地對(duì)硅晶圓片導(dǎo)電類型、方塊電阻和電阻率進(jìn)行判‘?dāng)?、測(cè)量和分檔。 本文詳細(xì)分析了導(dǎo)電類型、方塊電阻和電阻率測(cè)試原理，在比較了幾種測(cè)試方法的基礎(chǔ)上，采用了三探針補(bǔ)償法和雙電測(cè)組合四探針?lè)?。與國(guó)內(nèi)廠家現(xiàn)在普遍采用的電流指針偏轉(zhuǎn)法和直線四探針?lè)ㄏ啾?，具有測(cè)量精度高、測(cè)量無(wú)需修正函數(shù)，不受

2、樣品形狀和探針間距的影響，抑制探針有時(shí)偏離直線或有縱向游移影響的能力較強(qiáng)等。 本論文通過(guò)將導(dǎo)電類型、方塊電阻和電阻率測(cè)試方法與單片機(jī)μ'nSPTM061A相結(jié)合，設(shè)計(jì)出數(shù)字化智能導(dǎo)電類型、方塊電阻和電阻率測(cè)試儀，介紹了各部分電路的組成、功能和相應(yīng)的軟件編程。該系統(tǒng)依據(jù)三探針補(bǔ)償法和雙電測(cè)組合四探針?lè)ㄔ?，采?6位單片機(jī)μ'nSPTM061A控制的高穩(wěn)定度可編程恒流源電路和低溫漂、低噪聲可編程放大器電路，以及自動(dòng)量程轉(zhuǎn)換電路等部