ITO薄膜激光刻蝕控制系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn).pdf

1、隨著液晶顯示的發(fā)展,用于透明電極的銦錫氧化物(ITO)薄膜的需要量急劇增加。ITO薄膜具有導(dǎo)電性好,對(duì)可見光透明,對(duì)紅外光反射性強(qiáng)等特性,在液晶電視、太陽能電池、轎車風(fēng)擋等方面獲得日益廣泛的應(yīng)用。ITO薄膜在液晶顯示器中用作透明電極使用時(shí),需要在其表面制作出一定的電極線路圖形來,目前行業(yè)中化學(xué)蝕刻ITO薄膜占據(jù)主導(dǎo)地位,這也是ITO圖形制備中最成熟和可行的技術(shù)。ITO薄膜激光刻蝕技術(shù)利用了ITO薄膜反射紅外線,吸收紫外線能量的特性。使紫

2、外激光直接在透明基板上對(duì)ITO薄膜進(jìn)行刻蝕,通過計(jì)算機(jī)控制激光束的移動(dòng),薄膜吸收紫外激光能量后,從表面逃逸出來,從而刻蝕出一定的電極線路圖形,它屬于激光冷加工的范疇。與化學(xué)蝕刻相比,具有不可替代的優(yōu)勢(shì)。
　　 本文在驗(yàn)證了激光刻蝕的可行性后,設(shè)計(jì)完成了ITO薄膜激光刻蝕的控制系統(tǒng),主要包括光路系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制、激光器控制、PIO控制等。它是綜合光學(xué)、精密機(jī)械、電子等技術(shù)為一體的光機(jī)電一體化系統(tǒng)。本文的創(chuàng)新點(diǎn)是通過設(shè)計(jì)勻光系統(tǒng),使得