MEMS-DMs（微機(jī)電系統(tǒng)變形反射鏡）中的有限元分析.pdf

1、自適應(yīng)光學(xué)是一門集科學(xué)性和工程性為一體的綜合學(xué)科,它研究實(shí)時(shí)自動(dòng)改善光波波前質(zhì)量的理論、系統(tǒng)、技術(shù)和工程.微小型自適應(yīng)光學(xué)采用MEMS(微機(jī)電技術(shù))技術(shù),極大的改變了傳統(tǒng)自適應(yīng)光學(xué)器件體積、重量大的特點(diǎn),使得自適應(yīng)光學(xué)器件通過衛(wèi)星上空成為可能,在衛(wèi)星上裝載自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)可以極大改善了衛(wèi)星的圖像質(zhì)量,提高了衛(wèi)星的分辨率.有限元的是近年發(fā)展非常迅速的一門學(xué)科,在多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,微小自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中的變形反射鏡常采用有限元的方法來

2、分析.MEMS器件也大多采用有限元分析,分析時(shí)往往涉及到很力電熱等多學(xué)科領(lǐng)域.有限元的耦合分析可以很好的解決多學(xué)科分析的問題.在有限元的分析中,連續(xù)區(qū)域的離散化,即劃分網(wǎng)格是很重要,很關(guān)鍵的部分,它決定了以后計(jì)算分析的精度和計(jì)算的時(shí)間.在本課題的研究中,所分析的區(qū)域很規(guī)則,劃分網(wǎng)格不需要使用其他復(fù)雜的算法,由于劃分網(wǎng)格在有限元分析中的地位,還是在網(wǎng)格劃分這一塊做了很多的工作.通過對(duì)有限元的理論分析,在本文中使用Matlab自編程計(jì)算了一