光盤檢測技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、表面粗糙度是描述表面微觀形貌非常重要的一個參數(shù)，隨著機(jī)械加工自動化程度的提高，對表面粗糙度在線測量提出了越來越高的要求。傳統(tǒng)的觸針測量法，由于測量速度和測量條件的原因，不適于在線檢測。 隨著光電技術(shù)、激光技術(shù)和計算機(jī)技術(shù)的發(fā)展與廣泛應(yīng)用，本文提出了以光散射為理論基礎(chǔ)的光散射特征值法應(yīng)用在光盤表面粗糙度的測量中，通過對光散射模型的分析說明了散射帶的光能分布和粗糙度參數(shù)之間存在著一定的對應(yīng)關(guān)系。從概率統(tǒng)計出發(fā)，以散射帶光能分布曲線的

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