新型容柵式位移測(cè)量系統(tǒng)研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、該文首先簡(jiǎn)要介紹了幾種典型的容柵式位移測(cè)量系統(tǒng)的組成結(jié)構(gòu)和工作原理,對(duì)調(diào)相式、調(diào)幅式、逐次逼近式等容柵式位移測(cè)量系統(tǒng)的性能特點(diǎn)進(jìn)行了分析比較.在此基礎(chǔ)上提出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的全數(shù)字式容柵位移測(cè)量系統(tǒng)并對(duì)容柵傳感器及其測(cè)量電路進(jìn)行了深入的研究.容柵式位移測(cè)量系統(tǒng)的輸出特性主要由柵尺電極的型式和幾何參數(shù)決定,該文采用解析法分析了柵尺極板參數(shù)與傳感器的輸出特性和靈敏度的關(guān)系,并推導(dǎo)出了相應(yīng)的函數(shù)表達(dá)式.環(huán)境因素的變化會(huì)嚴(yán)重影響電容傳感器的性

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