新型容柵式位移測量系統研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文首先簡要介紹了幾種典型的容柵式位移測量系統的組成結構和工作原理,對調相式、調幅式、逐次逼近式等容柵式位移測量系統的性能特點進行了分析比較.在此基礎上提出了具有自主知識產權的全數字式容柵位移測量系統并對容柵傳感器及其測量電路進行了深入的研究.容柵式位移測量系統的輸出特性主要由柵尺電極的型式和幾何參數決定,該文采用解析法分析了柵尺極板參數與傳感器的輸出特性和靈敏度的關系,并推導出了相應的函數表達式.環(huán)境因素的變化會嚴重影響電容傳感器的性

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