靜電霧化沉積制備薄膜材料的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、江蘇大學(xué)碩士學(xué)位論文靜電霧化沉積制備薄膜材料的研究姓名：毛惠敏申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：流體力學(xué)指導(dǎo)教師：羅惕乾王軍鋒20071219江蘇大學(xué)碩士學(xué)位論文ABSTRACTTheformerresearchhasalreadyconductedthethoroughresearchontheatomizationcharacteristic、thechargeway、theelectrodestructureandthechargedtwo

2、phaseflowForthepurposeofexploringanewkindtechnologytheprimetaskofthispaperisintroducingtheelectrostaticatomizationtechniqueintothepreparationofthemiIlfilminordertodeposituniformthinfilmsofsomematerialsonsubstratesInorder

3、tOunderstandtheelectrostaticatomizationanddepositioncharacteristicofthemicroscalefluidflowanelectrostaticatomizationtechniqueinstallationhasbeendesignedExperimentalresearchonatomizationpropertiesiscarriedon，andtheelectro

4、staticatomizationisinvestigatedbvPDAandPⅣ：Theatomizationmodesofthecapillaryandtheflowfieldareanalyzed，theprimarycoverageoftheresearchworkisshownasfollows：1、Introducestheadvancesoftheelectrostaticsprayingintheliquiddrople

5、tsatomization，dropletscharging，transportingflowfieldanddepositiononthetargetsofthechargeddroplets，surveystheresearchprogressesoftheelectrostaticatomizationtechnologyandthedifferentatomizationpatterns2、Conductstheresearch

6、esunderthedifferentcurrentcapacityandmedifferentchargingvoltageontothecapillaryanalyzestheelectrostaticatomizationpatternsoflowthroughputatomization，usingthePDAtosurveythedropdiametersizeunderthedifferentconditions3、Anel

7、ectrostaticatomizationtechniqueinstallationhasbeendesignedComparedtOsomeotherthinfilmdepositiontechniques，suchaschemicalvapourdeposition(CVD)andphysicalvapourdeposition(PVD)etc，thethinfilmdepositionprocessusingelectrosta

8、ticatomizationisnotonlycheapbutalsocontrollableTIlistechniquehasbeendevelopedtogenerateultrafinespraydroplets4、UsesthePIVtotesttheprocessoftheflowfieldandstudiesthedepositioncontrolledvariablesthroughcontrastexperimentsF

9、inallyobtainsthemove—motionalanddepositionalcharacteristicofthesolutionoftheTi02alcoh015、Combinetheexperimentalstudycontentwiththetheoreticalanalysis，studiestheelementarytheoryofthechargeddroplet’Smovemotionalanddepositi

10、onalprocessDiscusestheapplicationsandtheproblemsinfabricationsofnanometricthinfilmsbyelectrostaticatomizationdepositiontechnique，along砸mthecriticalfactors，effectsonthemicrostructuresandpropertiesofthenanometricthinfilmsK

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