電沉積磁性合金薄膜材料的制備、結構與性能研究.pdf

1、鋼鐵研究總院博士學位論文電沉積磁性合金薄膜材料的制備、結構與性能研究姓名：劉天成申請學位級別：博士專業(yè)：材料學指導教師：盧志超李德仁20070601鋼鐵研究總院博士學位論文2、系統(tǒng)研究了真空熱處理溫度對Ni44Fe56合金薄膜材料的微結構和磁性能的影響，發(fā)現(xiàn)熱處理有利于薄膜中殘余應力的釋放，并且晶粒隨熱處理溫度的升高而長大，在300～350。C區(qū)間內(nèi)，晶粒尺寸存在一個突變。通過測量熱處理后的薄膜樣品的磁性能，發(fā)現(xiàn)低于300℃熱處理可以改

2、善薄膜的軟磁性能，這主要與薄膜內(nèi)應力降低和擇優(yōu)取向有關。3、在上述基礎上，對不同方向、不同強度穩(wěn)恒磁場下的NiFe合金電沉積進行了系統(tǒng)研究。通過改變外加磁場的方向，發(fā)現(xiàn)Ni—Fe電沉積過程中施加垂直磁場對薄膜的組成和性能的影響較大。通過改變電沉積過程中垂直磁場的強度，發(fā)現(xiàn)磁場強度增加可以明顯提高Ni—Fe合金薄膜中的Fe含量、晶體的(111)面的擇優(yōu)取向。通過測量不同磁場條件下沉積的合金薄膜的磁滯回線，可以改善或定制不同磁性能的合金薄膜