薄膜溫差電材料電沉積設備及性能測試系統(tǒng)的設計與制造.pdf

1、電沉積作為薄膜溫差電材料的一種重要制備方法，日益受到關注，但由于這種方法的應用還處于初始階段，其配套的制備設備及性能測試設備尚有待開發(fā)。本論文為滿足薄膜溫差電材料電沉積制備及其性能表征的需要，設計了薄膜溫差電材料電沉積設備和電阻率測試系統(tǒng)。
　　 本文設計的薄膜溫差電材料電沉積設備可同時輸出四路可控電壓信號，并具備實時監(jiān)測各個通道的電壓、電流、電量的功能。電壓信號可根據需要設置成脈沖波、三角波、直流等不同信號類型。該電沉積設備體

2、積較小、操作方便、造價低廉、性能穩(wěn)定、精確度高，完全滿足電沉積薄膜溫差電材料的需要。
　　 本文依據四探針法的基本原理并結合雙脈沖技術，設計并制造適用于薄膜溫差電材料的電阻率測試系統(tǒng)。該系統(tǒng)因采用了雙脈沖技術，避免了測試過程中溫差電材料的帕爾貼效應對電阻率測試結果的不利影響。該系統(tǒng)能夠滿足對任何形狀薄膜試片的電阻率測試，包括尺寸較小或者形狀不規(guī)則的薄膜試片。且當探針位于試片邊界附近時，可在不需要進行邊界幾何修正的情況下進行測量。