高速近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)研究.pdf

1、近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡(Near-field Scanning Optical Microscopy,NSOM)的分辨率突破了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡分辨率的衍射極限，自80年代中期以來獲得了很大的發(fā)展。到目前為止國外報(bào)道的NSOM的縱向分辨率最優(yōu)可達(dá)到0．01nm<'[1]>。NSOM同時(shí)具有傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡及掃描探針技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)，能對(duì)各種人工微細(xì)結(jié)構(gòu)，如光柵、光波導(dǎo)、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)以及磁光材料、量子器件、等成像，展示其在材料科學(xué)、信息科學(xué)、生物科學(xué)等領(lǐng)域

2、廣闊的應(yīng)用前景?？梢灶A(yù)見NSOM的應(yīng)用前景將會(huì)非常廣闊。 本文對(duì)高速NSOM的發(fā)展現(xiàn)狀和應(yīng)用前景進(jìn)行了綜述，研究了影響NSOM掃描速度的各個(gè)因素。對(duì)音叉探針—樣品作用系統(tǒng)和壓電陶瓷管系統(tǒng)建模并進(jìn)行了理論分析。設(shè)計(jì)了恒振幅探針-樣品間距反饋控制系統(tǒng)，實(shí)驗(yàn)表明恒振幅反饋電路的引進(jìn)有助于提高探針系統(tǒng)的響應(yīng)速度和靈敏度，改善所得圖像的質(zhì)量及分辨率。研制了基于石英晶體振蕩器(Quartz Crystal Resonance，QCR)的新型