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1、 少子壽命是半導(dǎo)體材料和器件的重要參數(shù)。它直接反映了材料的質(zhì)量和器件特性。能夠準(zhǔn)確的得到這個(gè)參數(shù),對(duì)于半導(dǎo)體器件制造具有重要意義?! ”疚难芯苛薖N結(jié)二極管、PIN二極管的多種少子壽命測(cè)試方法,使用電荷控制法,通過瞬態(tài)過程分析,提出了階越反向恢復(fù)法和儲(chǔ)存電荷法的修正公式。并使用連續(xù)性方程,在考慮表面復(fù)合過程的情況下,提出了短二極管的少子壽命計(jì)算公式。用Medici軟件模擬的結(jié)果表明:新的公式與實(shí)際測(cè)試過程相符。具有更好的精確性。用M
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