硅微波PIN二極管研究.pdf

1、微波PIN二極管是一種高阻本征區(qū)夾于P型和N型區(qū)之間的半導(dǎo)體二極管，是一種重要的微波控制器件，是各類微波開關(guān)、衰減器、移相器、限幅器、調(diào)制器等的核心器件，在相控陣?yán)走_(dá)、衛(wèi)星通訊、電子對(duì)抗、精確制導(dǎo)、空中打擊等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
　　 該項(xiàng)目是在新品課題WP0007型大功率PIN二極管研制的基礎(chǔ)上開展的硅微波PIN二極管設(shè)計(jì)與工藝技術(shù)研究。論文系統(tǒng)的研究了PIN二極管的工作機(jī)理，建立了電路模型，并對(duì)PIN二極管的電參數(shù)進(jìn)行了分析

2、，給出了設(shè)計(jì)公式，同時(shí)研究了PIN二極管的基本設(shè)計(jì)方法，給出了PIN二極管設(shè)計(jì)的基本原則。
　　 論文研究了PIN二極管工藝途徑，比較了臺(tái)面與平面兩種結(jié)構(gòu)的PIN二極管的工藝方法與優(yōu)缺點(diǎn)，并對(duì)臺(tái)面結(jié)構(gòu)的PIN二極管的工藝流程進(jìn)行了詳細(xì)分析。
　　 為實(shí)現(xiàn)大功率PIN二極管研制技術(shù)上的突破，在WP0007型PIN二極管的研制過程中開展了8項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)的工藝專題研究，解決了器件研制中存在的關(guān)鍵問題，主要包括：
　　 (

3、1)濃硼擴(kuò)散工藝技術(shù)
　　 (2)鉛玻璃鈍化工藝技術(shù)
　　 (3)濕法臺(tái)面腐蝕工藝技術(shù)
　　 (4)光刻工藝技術(shù)
　　 (5)電鍍工藝技術(shù)
　　 (6)裝架工藝技術(shù)
　　 (7)多層金屬電極系統(tǒng)制作工藝技術(shù)
　　 (8)C(V)特性測(cè)試技術(shù)
　　 項(xiàng)目研究的WP0007型PIN二極管，采用了臺(tái)式結(jié)構(gòu)、玻璃鈍化、金系多層電極系統(tǒng)、芯片倒裝等工藝技術(shù)，電性能全面滿足合同與使用要