氧化鋅和氧化鈷的原子層淀積與材料性能表征.pdf

1、指 導(dǎo) 小 組 成 員丁 士進 教授張衛(wèi) 教 授碩 卜 學 位 論文 日錄3. 23. 3實 驗 方 案 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ……_. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

2、. . . . . . .……39實 驗 結(jié) 果 及討 論 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ……403. 3.】 200OC 淀 積

3、溫 度 下 生 長 Z nO 的 形態(tài) 表 征 .3. 3. 2 快 速 熱 退 火 對 200 “ C 淀積 溫 度 下所 生 長的 Z nO 的 形 態(tài) 為影 啊 . . ……300OC 淀積溫度 卜 生長 Z nO 納 米 品 的形態(tài) 表 址. . …3. 3 . 4300 “ C 淀 積 溫 度 下 生 反的 Z nO 納 米 晶 的 化 學 組 分 分析 . ……，… 4 9氣，3 . 4 本 章 小 結(jié) . . . . .

4、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . ……54第 四章 原子層 淀積氧 化鉆 的工藝探 索及 表 征 . . .

5、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ……“4.1 引 臺 - . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

6、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. ……564 . 2 實 驗 仃案 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ……、 . . . ……， . . .. . . . . .. . .. . .. .. . . . . . . . . . . . . .

7、. . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . .. .. . .. . . ……564 . 3 實 驗 結(jié) 果 及討 論 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

8、 . . . . . . . . . . . . . . . . ……574 . 4 本 章 小 結(jié) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

9、 . . . . . . . . . . . . . ……62第 五 章 總 結(jié) 與 展 望 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

10、 . . . . . . ……63參 考 文 獻 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

11、 . . . . . . . . . . . . . ……65碩 士 階段 取 得 的 學 術(shù) 成 果 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ……， . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ……71致 謝 . .

12、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ……， . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .