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文檔簡介
1、 掃描力顯微鏡(SFM)已經(jīng)發(fā)展成為研究鐵電薄膜材料電疇結(jié)構(gòu)、電疇特性及其電性能的關(guān)鍵工具和方法。在眾多的SFM模式中又以壓電響應模式(PFM)為最主要的研究手段。 本研究從PFM電疇成像入手，討論了樣品表面“狀況”、樣品結(jié)構(gòu)及SFM針尖狀態(tài)等成像和分辨率的主要影響因素。文章利用PFM對應用最廣泛的PbZrxTil-xO3(PZT)鐵電薄膜材料的電疇微結(jié)構(gòu)和疲勞特性之間的關(guān)系進行研究。用新方法研究PZT疲勞特性，在實現(xiàn)樣品極化
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