納米氮化鋯涂層腐蝕因素研究.pdf

1、ZrN比TiN具有更好的耐磨性、抗腐蝕性，更優(yōu)的力學性質，良好的化學和熱學性能以及漂亮的金黃色和較高的硬度和熔點，已經在表面防腐、表面裝飾以及各種工模具的表面強化及提高材料性能等方面得到了廣泛的應用。但關于涂層制備參量的防腐蝕因素研究相對較少，此問題的解決無疑是推進這一涂層向應用領域推廣的重要因素。 本文利用極化曲線和腐蝕電位測量技術，研究了工作氣壓、氮氣流量、基體偏壓和沉積溫度對涂層防腐性能的影響，并根據(jù)裝飾鍍層的要求，用正交

2、實驗法找出了防腐性能最佳的制備參數(shù)。研究得到：涂層的防腐性能因制備參量對涂層缺陷、孔隙密度和膜基附著力產生作用而受到影響，單參量因素實驗發(fā)現(xiàn)它們的值分別為0.3 Pa、5 sccm、-100V和300℃時，涂層防腐性能最好；正交實驗中發(fā)現(xiàn)，制備參數(shù)分別為0.2 Pa、12 sccm、-100 V和300℃時，涂層防腐性能最佳。基于裝飾鍍層考慮，用單參量因素實驗研究了制備參量對涂層的沉積速率和顏色的影響，發(fā)現(xiàn)制備參量對沉積離子的濃度、種類