NROM Flash器件、工藝及可靠性研究.pdf

1、當(dāng)前，以Flash為存儲媒介的不揮發(fā)存儲器電子產(chǎn)品正方興未艾，從常見的簡單U盤到琳瑯滿目的各種mp3音樂播放器、mp4多媒體播放器，從嵌入在手機(jī)電路中作為存儲指令代碼的載體到供數(shù)碼相機(jī)存放照片的各類存儲卡，以及在手機(jī)、DVD播放器的解碼電路、機(jī)頂盒、汽車電子等等，處處可以見到Flash的身影。尤其是進(jìn)入21世紀(jì)以來，F(xiàn)lash新技術(shù)的研發(fā)，新產(chǎn)品的開發(fā)，以及整個產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展很大程度上提升了人們的生活質(zhì)量和水平，使人們的生活變得更加的自

2、如和方便。 本文結(jié)合基于局部電荷俘獲原理的NROMFlash試圖對其一些獨特的工藝、器件和可靠性特性進(jìn)行一些有益的探討。 全文共分五章。前言部分簡要回顧了Flash發(fā)展的歷史以及目前的技術(shù)發(fā)展水平。第一章主要論述不揮發(fā)存儲器概況及NROMFlash特點，從不揮發(fā)存儲器應(yīng)用及其特性入手，并通過比較NANDFlash和NORFlash的異同點，進(jìn)而介紹本文要論述的NROMFlash工藝及設(shè)計特性。第二章側(cè)重于NROMFlas

3、h主要測試鍵的設(shè)計和測量，有針對性地就一些關(guān)鍵的電性測試參數(shù)進(jìn)行設(shè)計是必須和必要的。第三章對NROMFlashCell的操作機(jī)制和一些物理模型進(jìn)行了有益的探討，從NROMFlashcell的基本操作，到器件在操作過程中電性發(fā)生的一些變化，都是揭示其獨特機(jī)制的線索和呈現(xiàn)形式。第四章是本文的重點，集中就NROMFlash的工藝特性展開討論。在該章中，主要討論了摻雜及其分布對Cell特性的影響，Thermal對器件特性的影響以及一些先進(jìn)的工藝