面向高速高加速度運(yùn)動伺服系統(tǒng)的自尋優(yōu)模糊控制研究.pdf

1、隨著人們對產(chǎn)品性能、質(zhì)量、和制造周期等越來越高的要求,則現(xiàn)代化制造設(shè)備的高速、高加速度及高精度伺服性能優(yōu)劣就顯得尤其重要.特別在現(xiàn)代高速高精度數(shù)控機(jī)床和集成電路制造設(shè)備中,高速高加速運(yùn)動保證了生產(chǎn)效率,而高精度運(yùn)動確保了制造質(zhì)量.高速高加速度運(yùn)動伺服系統(tǒng)是現(xiàn)代化制造設(shè)備尤其是集成電路制造設(shè)備中的核心技術(shù)之一.論文的主要內(nèi)容包括: (1)采用直線電機(jī)直接驅(qū)動伺服系統(tǒng)的結(jié)構(gòu),來滿足高速高加速度運(yùn)動的需求,并建立高速高加速度運(yùn)動伺服系統(tǒng)的理論

2、模型,并推導(dǎo)出數(shù)學(xué)模型,具有重要的基礎(chǔ)理論意義. (2)分析了現(xiàn)階段各種可行且應(yīng)用于高速高精度場合的控制策略,并針對直線電機(jī)系統(tǒng)比較明顯的非線性、系統(tǒng)參數(shù)攝動、和負(fù)載擾動等不確定因素,采用基于遺傳算法優(yōu)化的模糊控制策略,來代替?zhèn)鹘y(tǒng)PID控制. (3)介紹了模糊控制和遺傳算法的基本理論,并設(shè)計(jì)了模糊控制器,然后將其引入的量化和比例因子問題看作是控制參數(shù)的優(yōu)化問題,著重研究了基于遺傳算法優(yōu)化的自尋優(yōu)模糊控制的設(shè)計(jì).