射頻CO-,2-激光器電源和控制技術(shù)研究及實(shí)踐.pdf_第1頁(yè)
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1、文章首先介紹了射頻激勵(lì)CO<,2>激光器二十多年的發(fā)展歷史及研究現(xiàn)狀.接著從原理入手,給出射頻激勵(lì)CO<,2>激光器放電理論模型及放電腔的等效阻抗計(jì)算方法,分析了射頻激勵(lì)頻率對(duì)激光器工作特性的影響,并介紹了射頻激勵(lì)CO<,2>激光器功率控制原理.然后,以25W射頻激勵(lì)CO<,2>激光器為例,論述了射頻電源各部分的設(shè)計(jì)方法,給出了采用新型高頻大功率晶體管放大器模塊及以微帶線作為阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的新型電源設(shè)計(jì)方案,并對(duì)采用該設(shè)計(jì)電源的射頻CO<

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