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文檔簡介
1、在激光加工領域，射頻CO2激光器由于其卓越的性能而得到了廣泛的應用，國內(nèi)相關機構也開展了這方面的研究，但是還沒有國產(chǎn)射頻CO2激光器投入運用。本文重點對射頻CO2激光器射頻激勵源進行了研究。
文章首先介紹了射頻CO2激光器發(fā)展歷史及研究現(xiàn)狀，接著介紹了高頻擊穿理論和射頻激勵，并介紹了射頻CO2激光器的結構和冷卻的方法，總結了射頻CO2激光器高效運轉的因素，這對深刻理解射頻激勵源的性能要求有著重要意義。
然后介
2、紹了元器件高頻模型。元器件的特性在高頻條件下和低頻條件下有很大的差別，不同的類型、相同數(shù)值的元件在具體電路中的表現(xiàn)也會有很大差別，如果選擇不合理，將會導致實際的激勵源和設計的激勵源有很大差別，甚至根本就不能工作。同時介紹了印制板材的選擇，這也是一個影響激勵源性能的重要因素。
接著分析了射頻激勵源的阻抗要求，并給出了測定射頻放電阻抗的方法。本文所研究的射頻激勵源并非50Ω（或75Ω）標準工業(yè)射頻電源，因此為了達到對負載的輸出
3、功率要求，必須預先知道激光器射頻放電阻抗。
最后基于SYNRAD 48J-1激光器，詳細介紹了三種激勵源的設計方案及相關理論。
(1)集中參數(shù)多極放大射頻激勵源；
(2)運用微帶線技術的射頻激勵源；
(3)功率振蕩器射頻激勵源。
在設計過程中，使用了ADS2003C仿真平臺，運用了諧波平衡仿真、相位噪聲分析等技術。
在SYNRAD 48J-1激光器上的實
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