基于高溫高精度壓力傳感器的數(shù)據(jù)融合技術(shù)研究.pdf

1、基于高溫高精度壓力傳感器的數(shù)據(jù)融合技術(shù)研究主要研究高溫高精度壓力傳感器敏感元件的材料及其設(shè)計(jì)過程和制造工藝；溫度傳感器的NTC電阻器的制造方法及其工藝過程；USB數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的設(shè)計(jì)；數(shù)據(jù)融合算法的研究和系統(tǒng)上位機(jī)界面軟件設(shè)計(jì)。
　　 研究高溫高精度壓力傳感器的設(shè)計(jì)，其工作原理以及制作方法是采用MEMS技術(shù)在藍(lán)寶石為絕緣襯底上制成四個(gè)矸力敏電阻，制成硅—藍(lán)寶石力敏元件，將力敏元件燒結(jié)在鈦合金彈性膜片上，在壓力作用下，鈦合金膜片產(chǎn)生

2、形變，該形變被硅—藍(lán)寶石力敏元件檢測(cè)到，并輸出與被測(cè)壓力成正比的電信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)壓力測(cè)量。重點(diǎn)研究高溫壓力敏感元件材料的特點(diǎn)，彈性膜片的形狀以及尺寸的設(shè)計(jì)，彈性膜片上電阻的布局及電阻條尺寸的設(shè)計(jì)。研究溫度傳感器的設(shè)計(jì)，利用熱阻效應(yīng)工作原理，選用NTC熱敏電阻作為溫敏元件，與其他電阻構(gòu)成測(cè)溫電橋，輸出與被測(cè)溫度成反比的電信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)溫度測(cè)量。著重闡述NTC電阻器的結(jié)構(gòu)及制造工藝。重點(diǎn)分析壓力傳感器和溫度傳感器的輸出信號(hào)經(jīng)USB數(shù)據(jù)采集系