SOI高溫壓力傳感器設(shè)計(jì)及制備技術(shù)研究.pdf

1、在高溫惡劣環(huán)境下,氣體壓力參數(shù)的敏感測試由于敏感頭的機(jī)械結(jié)構(gòu)功能退化、連接引線高溫失效等問題,是無法進(jìn)行實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測量的。因此,要對(duì)壓力傳感器進(jìn)行高溫設(shè)計(jì),從敏感頭材料到連接線材料,及至封裝管殼的選取,都要使用在高溫下性能仍然穩(wěn)定的材料,而且要從整個(gè)傳感器設(shè)計(jì)上,采用耐高溫的設(shè)計(jì),以確保壓力傳感器能夠在高溫下穩(wěn)定正常工作。
　　本文采用SOI材料作用敏感頭材料,使敏感頭在高溫下避免了本征半導(dǎo)體被激發(fā),而導(dǎo)致的PN結(jié)反向?qū)ǖ膯栴};采

2、用MEMS工藝加工的方法,確保了SOI壓力傳感器敏感頭機(jī)械性能的穩(wěn)定和機(jī)械結(jié)構(gòu)的可靠性;以耐高溫金屬材料作為金屬引線材料,使壓力傳感器在封裝上能夠耐得住高溫惡劣環(huán)境的影響;使用與傳感器熱膨脹系數(shù)似的陶瓷管殼作為封裝管殼,降低了壓力傳感器在高溫下熱應(yīng)力,提高了壓力傳感器在高溫惡劣環(huán)境下穩(wěn)定性與靈敏度。
　　根據(jù)上述高溫壓力傳感器的設(shè)計(jì)思路,在高溫壓力傳感器的設(shè)計(jì)過程中,采用理論與仿真并行的方法,將傳感器按結(jié)構(gòu)進(jìn)行分部分研究,得到了傳