一種組合式AFM系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、隨著社會(huì)對(duì)納米科學(xué)技術(shù)的日漸重視和關(guān)注，掃描探針顯微鏡(SPM)在近30年的時(shí)間里有了突飛猛進(jìn)的發(fā)展，在表面科學(xué)、生命科學(xué)、材料科學(xué)等研究領(lǐng)域都有重大的意義和廣闊的應(yīng)用前景。原子力顯微鏡(AFM)作為掃描探針顯微鏡家族的一員，更是納米技術(shù)發(fā)展的重要基礎(chǔ)，也是納米科技工作者必不可少的研究工具。
　　 AFM的應(yīng)用領(lǐng)域最為廣泛，它可以在大氣、液體等多種環(huán)境下對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體等多種材料進(jìn)行觀測(cè)，適應(yīng)性很強(qiáng)。目前原子力顯微鏡的發(fā)展

2、趨勢(shì)呈現(xiàn)出功能的復(fù)合化，利用AFM不僅可以直接觀察物質(zhì)表面的納米級(jí)形貌，也能進(jìn)行一定程度的納米加工，甚至還可以實(shí)現(xiàn)微納米結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能測(cè)試以及生物材料研究等特殊功能。也正是因此，AFM在科學(xué)研究領(lǐng)域的需求非常大，研制新型的多功能原子力顯微鏡是當(dāng)下眾多科技工作者的重要任務(wù)。對(duì)比商業(yè)化AFM儀器，自行組合的AFM系統(tǒng)具有較好的開(kāi)放性和靈活性，不但能降低AFM的制造成本，還有助于AFM擴(kuò)展功能的應(yīng)用。本研究主要內(nèi)容包括：
　　 ⑴研究