Low-E膜反應(yīng)器位移測(cè)量系統(tǒng)的研究.pdf

1、當(dāng)前測(cè)量技術(shù)正向高精度、高效率和自動(dòng)化方向發(fā)展。位移的非接觸測(cè)量是測(cè)量技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一。本文介紹了幾種常用的非接觸位移測(cè)量方法、PSD的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)，分析了傳統(tǒng)光學(xué)三角法的缺陷，采用光學(xué)差動(dòng)測(cè)量法設(shè)計(jì)了基于PSD的Low-E膜反應(yīng)器位移測(cè)量系統(tǒng)。深入探討了本測(cè)量系統(tǒng)的工作原理和PSD信號(hào)處理電路，通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了系統(tǒng)的精度并分析了誤差產(chǎn)生的原因。 本文研究?jī)?nèi)容包括以下幾個(gè)方面： 1.分析了光學(xué)三角法的原理。針對(duì)

2、光學(xué)三角法固有的缺陷，設(shè)計(jì)了光學(xué)差動(dòng)測(cè)量方法。 2.在光學(xué)三角法的基礎(chǔ)上發(fā)展了光學(xué)差動(dòng)測(cè)量法，建立了數(shù)學(xué)模型，并做了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。 3.設(shè)計(jì)了測(cè)量系統(tǒng)的硬件，對(duì)硬件組成進(jìn)行了介紹。詳細(xì)探討并設(shè)計(jì)了兩種PSD信號(hào)處理電路設(shè)計(jì)方案。改進(jìn)了直流放大型的PSD信號(hào)處理電路，采用采樣-保持的方法用以消除暗電流和背景光的影響，用軟件代替硬件實(shí)現(xiàn)信號(hào)的加法、減法和除法，以提高穩(wěn)定性。 4.基于ADuC832數(shù)字系統(tǒng)平臺(tái)開(kāi)發(fā)了系統(tǒng)軟