薄膜F-P梳狀濾波器的設(shè)計與制作.pdf

1、本文基于薄膜法布里-珀羅濾波器的原理，對密集波分復(fù)用(DWDM)系統(tǒng)中的窄帶濾光片的基片加工、光譜特性、膜系的優(yōu)化設(shè)計、誤差分析、膜厚監(jiān)控方式、鍍制工藝和粘接工藝等方面進(jìn)行了深入的理論分析和試驗(yàn)研究。主要內(nèi)容如下： ⑴以光學(xué)薄膜基本理論為基礎(chǔ)，介紹了法布里-珀羅干涉儀的原理，引出薄膜法布里-珀羅濾光片的類型，著重分析了多腔薄膜法布里-珀羅濾光片的設(shè)計原理，及光束斜入射對薄膜窄帶濾光片的中心波長的影響。對不同類型濾波器的原理進(jìn)行了

2、分類介紹。 ⑵詳細(xì)闡述了多腔級聯(lián)型F-P梳狀濾波器的設(shè)計方法和制備過程。對基片的規(guī)格要求進(jìn)行討論確定，檢測其厚度和面形精度引進(jìn)加工誤差分析。根據(jù)全介質(zhì)法布里-珀羅濾光片的設(shè)計原理，運(yùn)用Mass3．0軟件模擬得到理想的透射光譜曲線。針對光學(xué)極值法監(jiān)控制備膜層帶來的誤差，進(jìn)行了膜系誤差分析，直觀模擬了單腔膜系靈敏度和允差透射曲線，得到相關(guān)敏感層和最優(yōu)允差范圍。對于基片的連接方式，采用粘接劑膠合和直接鍵合兩種方法進(jìn)行試驗(yàn)，對比試驗(yàn)結(jié)果