基于Halbach陣列的高精度平面磁懸浮電機的設計和制造.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在這篇論文中，作者提出了一種基于Halbach陣列的高精度磁懸浮平面電機的結構設計思路和制造流程。這種結構的電機能夠提供光刻作業(yè)中的所有運動，其中包括用于晶圓表面定位的大行程平面運動和極微的調準調焦運動。 在分析了若干種可供參考的平面電機結構之后，作者確定了一種單動子磁懸浮結構為樣機結構。樣機動子的執(zhí)行器為四個永磁直線電機，這四個執(zhí)行器提供所有的懸浮力和單邊拉力。執(zhí)行器的永磁陣列安裝在動子下表面，采用新型的Halbach永磁陣列

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